分析真空度測試儀的測試原理

分析真空度測試儀的測試原理


真空度測試儀的測試原理

開關真空度測試儀測試原理

    將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓；將滅弧室置于螺旋線圈內或將新型電磁線圈置于滅弧室外側，向線圈施加磁場電壓，從而在滅弧室內產生與高壓同步的脈沖磁場。這樣在脈沖磁場和強電場的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運動，真空度測試儀并與殘余氣體分子發生碰撞電離，所產生的離子電流與殘余氣體的密度（即真空度值）成比例關系。對于不同型號的真空管（管型），由于其結構不同，在同等觸頭開距、開關真空度測試儀同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標定各種管型的真空度與離子電源間的對應關系曲線。當測知離子電流后，就可以通過查詢該管型的離子電流－真空度曲線而獲得該管型的真空度。測試電路示意圖如圖１所示。

真空度測試儀在常規磁控放電法測試滅弧室的真空度時，為了提高測試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺旋管線圈內。這樣一來，真空度測試儀滅弧室重新裝回斷路器裝置上時需要重新調整機械參數，工作量很大且需專業人士。使用新型磁線圈可以從側面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室。同時采用單片微機進行同步控制與數據采集處理，提高了滅弧室真空度的現場測試靈敏度。